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環(huán)評(píng)公示 eia-publicity
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合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項(xiàng)目 環(huán)境影響報(bào)告書和公眾參與說明報(bào)批前公示

發(fā)布時(shí)間:2023/08/17 環(huán)評(píng)公示 瀏覽次數(shù):2277

1、環(huán)境影響報(bào)告書信息公示說明

合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項(xiàng)目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設(shè)電子氣提純生產(chǎn)線、準(zhǔn)分子激光氣體混配生產(chǎn)線、電子氣分裝生產(chǎn)線、半導(dǎo)體級(jí)高純氣體純化器生產(chǎn)線和超潔凈鋼瓶處理線;項(xiàng)目實(shí)施后高純?nèi)穑˙F3)提純年產(chǎn)300噸;超純四氯化硅(SiCl4)提純年產(chǎn)300噸;年產(chǎn)準(zhǔn)分子激光氣28000瓶,(其中193波長(zhǎng)激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne,各3000瓶;248波長(zhǎng)激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne,各5000瓶;308波長(zhǎng)激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne,各4000瓶);高純氧氣(O2)分裝年產(chǎn)1000噸;高純氫氣(H2)分裝年產(chǎn)40000瓶;高純八氟丙烷(C3F8)分裝年產(chǎn)300噸;高純一氧化二氮(N2O)分裝年產(chǎn)3000噸;超純二氧化碳(CO2)分裝年產(chǎn)10000噸;高純氮(N2)分裝年產(chǎn)3000噸;高純氬(Ar)分裝年產(chǎn)3000噸;高純氦(He)分裝年產(chǎn)20000瓶;液氦分裝年產(chǎn)50噸;半導(dǎo)體級(jí)高純氣體純化器年產(chǎn)1000套;超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進(jìn)行甲烷(CH4)、硅烷(SiH4)、氯氣(Cl2)高純電子氣體產(chǎn)品儲(chǔ)存經(jīng)營(yíng),年經(jīng)營(yíng)量分別為50t/a、10t/a、50t/a。

根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)公眾參與辦法》,現(xiàn)將項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告及公眾參與說明(見附件)進(jìn)行報(bào)批前公示。

2、建設(shè)單位及聯(lián)系方式

建設(shè)單位:合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司

聯(lián)系電話:13665699325

聯(lián)系人:劉總

聯(lián)系地址:合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角

3、環(huán)評(píng)單位及聯(lián)系方式

評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu):合肥市斯康環(huán)境科技咨詢有限公司

聯(lián)系方式:0551-65614551

聯(lián)系人:高工

聯(lián)系地址:合肥市廬陽(yáng)區(qū)蒙城北路108號(hào)

 

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